基于MEMS结构的气体传感器。利用非分散式红外光学(NDIR)原理来检测气体浓度,可检测CO2、CO、HC、SF6、SO2、N2O等多种气体,可批量供货,双窗、四窗。
NDIR气体传感器原理图
气体传感器滤波片及检测气体波长